Chế tạo và khảo sát cấu trúc tinh thể và hình thái học của màng mỏng ZnO pha tạp (Ga và In)

Tóm tắt

Chúng tôi đã chế tạo thành công màng mỏng ZnO thuần, ZnO pha tạp Ga, ZnO pha tạp đồng thời Ga và In bằng phương pháp phún xạ magnetron dc. Các kết quả XRD, EDX và FESEM thể hiện rõ ảnh hưởng của nguyên tố pha tạp Ga, In lên cấu trúc tinh thể và độ kết tinh của màng mỏng ZnO. Màng mỏng ZnO pha tạp Ga có tinh thể tốt nhất. Màng mỏng ZnO được đồng pha tạp Ga và In có tính tinh thể kém hơn so với màng GZO và ZnO. Bằng cách pha tạp đơn chất (Ga) và lưỡng chất (Ga và In), chúng tôi đã điều khiển được cấu trúc tinh thể của màng mỏng ZnO. Dựa vào các kết quả trên, các nghiên cứu về tính chất nhiệt điện của các màng mỏng ZnO thuần và ZnO pha tạp đang được tiến hành.