Nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi cảm biến áp trở đo dịch chuyển

Tóm tắt

Các cấu trúc nhạy tín hiệu cơ tiêu biểu thường có dạng các màng hoặc các thanh dầm được chế tác 3 chiều từ các vật liệu khối. Chỉ có thể chế tạo các cấu trúc này với độ chính xác cao và chất lượng đồng đều nhờ công nghệ vi cơ (MEMS). Do tính đặc thù cũng như khả năng chế tạo đặc biệt, công nghệ MEMS đã được ứng dụng để chế tạo các cấu trúc (structures), các cảm biến (sensors) cũng như các hệ chấp hành (actuators) ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau như trong công nghiệp, kĩ thuật, y tế, quân sự… Trong những năm gần đây, với sự hỗ trợ to lớn của công nghệ vi điện tử và công nghệ sing học, công nghệ vi cơ đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu (ITIMS) là nhóm đầu tiên ở Việt Nam triển khai và thành công trong một số loại cảm biến theo hướng công nghệ này. Các kết quả thu được từ việc chế tạo và khảo sát đặc trưng linh kiện cho phép khẳng định, với điều kiện công nghệ có ở ITIMS, loại vi cảm biến kiểu áp trở đo dịch chuyển đã được thiết kế và chế tạo thành công. Các cảm biến dịch chuyển chế tạo đã được đáp ứng tốt với tín hiệu vi dịch chuyển, có khả năng phát hiện các dịch chuyển rất nhỏ với độ nhạy lên tới 62 µV/V.µm và khả năng phân giải đạt tới 0,16 µm.