Thiết kế tối ưu cấu trúc ống dẫn sóng quang tích hợp sử dụng hiệu ứng quang -nhiệt trên công nghệ silicon

Tóm tắt

Bài báo trình bày phương pháp thiết kế tối ưu cấu trúc ống dẫn sóng quang sử dụng hiệu ứng quang nhiệt trên công nghệ silicon (SOI). Để tính toán chính xác các tham số tốc độ (chuyển mạch) và phân bố nhiệt độ…, phương trình truyền nhiệt trong cấu trúc thiết bị được giải bằng phương pháp FEM. Bài báo cũng chỉ ra các  ưu điểm của cấu trúc được đưa ra so với cấu trúc truyền thống khác. Đồng thời, lần  đầu tiên, một công thức tính chính xác độ dịch pha do hiệu ứng quang - nhiệt trong ống dẫn sóng được đề xuất.