Semiconductor metrology: Current status and development potential in Vietnam

Abstract

Ngành công nghiệp bán dẫn đang trải qua giai đoạn chuyển đổi sâu sắc khi các công nghệ sản xuất tiến đến những giới hạn vật lý của Định luật Moore. Với sự phát triển của các kiến trúc thiết bị phức tạp như: transistor hiệu ứng trường vây (FinFET), thiết kế bóng bán dẫn có cổng được đặt ở cả bốn phía của kênh (GAA), việc tích hợp 3D ngày càng tăng. v. v, các yêu cầu về đo lường đã trở nên cực kỳ khắt khe. Đối với Việt Nam, khi đất nước đang xây dựng hệ sinh thái bán dẫn quốc gia, việc phát triển năng lực đo lường bán dẫn không chỉ là nhu cầu thiết yếu mà còn là yếu tố quyết định khả năng cạnh tranh trong chuỗi giá trị toàn cầu.