PHÁT TRIỂN VI CHẤP HÀNH ĐIỆN NHIỆT KIỂU DẦM CHỮ V ĐỂ DẪN ĐỘNG VI ĐỘNG CƠ QUAY MỘT CHIỀU

Tóm tắt

Bài báo phát triển các bộ vi kích hoạt, tính toán, thiết kế cấu trúc vi động cơ quay một chiều sử dụng bốn bộ vi chấp hành điện nhiệt chữ V đặt đối xứng để dẫn động vành răng rotor bên ngoài. Vi động cơ có đường kính ngoài 2,5 mm được tính toán truyền nhiệt dựa trên phương pháp sai phân hữu hạn, cho độ chính xác tương đối cao so với kết quả mô phỏng. Các tính toán về lực và điều kiện điện áp cho vi động cơ có thể làm việc an toàn cũng được đề cập chi tiết. Quy trình chế tạo vi cơ khối cải tiến sử dụng tấm silic kép (silicon on insulator- SOI) và công nghệ phún xạ bề mặt platinum nhằm giảm điện áp dẫn cho linh kiện đã được áp dụng thành công. Kết quả chụp mẫu vi động cơ từ kính hiển vi quét (SEM) cho hình ảnh các cơ cấu có độ sắc nét cao và phù hợp với thiết kế. Vi động cơ có tiềm năng ứng dụng trong các khớp truyền động quay của hệ thống micro robot hoặc trong các hệ thống vi lắp ráp, vi vận chuyển của các hệ thống tích hợp micro.